2.5D光刻机是一种制程技术，它是在普通2D光刻机的基础上，加上了一些微弱的光固化过程，来创造出3D的效果。

在2.5D光刻机上，通过使用同步移动的胶体玻璃平板和特殊的3D相位掩模，可以结合多个2D图案，使其有效堆叠，并形成凹凸不平的3D图案。2.5D光刻技术已广泛应用于半导体、微机电系统（MEMS）、光电器件和微纳米生物技术等领域，对于制造高精度、高质量和复杂形状的微型器件都具有重要作用。