纳米技术主要包括纳米物理学、纳米化学、纳米电子学、纳米材料学、纳米生物学、纳米加工学、纳米力学等。这些学科共同组成了纳米高技术群体，它们的出现和发展将带来一轮新的技术革命。纳米材料是纳米科技的基础，其制备和研究涉及多个领域。纳米加工技术则是纳米科技发展的基础，也是纳米技术应用的关键。此外，纳米光刻技术是制造纳米结构器件的主要技术之一，它已经成为21世纪信息科学的一项关键技术。

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