刻蚀机是一种利用等离子体对材料表面进行加工的设备，广泛应用于半导体制造、精密机械、医疗和航空航天等领域。刻蚀机的基本原理是将气体（如氧气或氯气）电离形成等离子体，等离子体中的离子被加速轰击材料表面，从而去除材料。

刻蚀机的主要部件包括等离子体源、电源、工件台和气体控制系统，通过调节这些部件的参数可以控制刻蚀速率、刻蚀深度和刻蚀形状。