刻蚀机是一种用于加工微纳米级尺寸的二维和三维微型结构的设备，通常使用像电子束或离子束这样的高能粒子来切割和形成所需的图案。

刻蚀机在半导体和光电子制造工业中得到广泛应用，用于制造微型电路、机械部件、传感器和MEMS器件等。

刻蚀机基本上由下部主机、上部马赛克刻蚀机头、加热和冷却控制系统、真空泵和压力控制等部件组成。 刻蚀机的效果受到多种因素的影响，例如刻蚀深度、图案分辨率、均匀性和制备速度等，这些因素需要在不同的应用场景下进行优化。