异质结电池的衬底材料主要取决于该电池中不同半导体材料的选择。在晶体管和太阳能电池中，最常见的衬底材料是硅。但是在其他类型的异质结电池中，如钴铝氧化物，硒化镉或碲化镉电池中，衬底材料通常是玻璃或陶瓷材料。有些电池甚至使用聚合物或薄膜作为衬底材料，这取决于应用的具体要求。总之，衬底材料的选择取决于电池所需的电学和光学性能，以及材料的可用性和成本。